Индустри Инсигхт|Колико је критична чистоћа гаса у производњи полупроводника?

У производњи полупроводника преовладава-добро успостављен консензус: горња граница перформанси чипа је дефинисана дизајном, док доња граница производног приноса зависи од чистоће материјала.

Слика је преузета са интернета.

Од чишћења плочице и таложења танких{0}}филмова до нагризања и допинга, производни процес за једну плочицу од 12- укључује више од 30 типова процесних гасова, укључујући силан, амонијак, азот трифлуорид, волфрам хексафлуорид, хлороводоник и још много тога. Сваки гас мора бити испоручен у реакциону комору ултра-високе чистоће.

Нечистоће у траговима на нивоу ппб (влага, кисеоник, честице) које улазе у цевовод за гас могу да изазову дефекте танког{0}}филма и контаминацију међуфаза, директно смањујући производни принос. Узимајући 3нм процес као пример, сваки појединачни чип вреди стотине америчких долара; само 1% флуктуација у приносу је довољна да се избрише профит процењен на десетине милиона.

Унутар индустрије полупроводника, „висока чистоћа“ не значи „спреман за процес{0}}“. Прави изазов лежи у задржавању чистоће - одржавању гаса без контаминације- током читавог пута испоруке од извора гаса до тачке употребе (ПОУ).

Три основне заштитне мере раде у тандему да би се ово постигло:

(1) Избор материјала: Цеви и тела вентила су произведени од ВИМ+ВАР двоструко претопљеног нерђајућег челика 316Л како би се минимизирало елементарно испуштање гасова из основних материјала.

(2) Површинска обрада: Унутрашња храпавост површине Ра Мања или једнака 0,25 μм (10 μин.) са третманом електрополирања (ЕП) ради смањења адхезије честица и адсорпције влаге.

(3) Интегритет херметичког заптивања: Брзина цурења хелијума Мања или једнака 1×10⁻⁹ атм·цц/сец да би се у потпуности блокирао продор спољашње контаминације.

ВИГОР ВУПС Ултра-Линија производа високе чистоће покрива цео ланац испоруке гаса у складу са СЕМИ стандардима, укључујући металне спојеве са предњим{1}}заптивкама за видеорекордере, мембранске вентиле високе{2}}чистоће и двостепене регулаторе притиска-.

Сви производи се склапају, тестирају и пакују у дуплу -вакуумску врећу- у чистим просторијама класе 100 пре отпреме. Оно што клијенти добијају нису само појединачни вентили, већ комплетан систем-и-укључи и{5}}укључи и пусти ултра-систем обезбеђења високе чистоће.

ВИГОР производи су поуздано функционисали у специјалним системима за испоруку гаса и ЦВД/ПВД цевоводима за снабдевање гасом у бројним фабрикама вафла, компатибилни са критичним процесним гасовима као што су силан, азот трифлуорид и бор трихлорид.

Производња полупроводника је бескрајна трка против загађивача - и мисија ВИГОУР-а је да обезбеди најчистију могућу стартну линију за ову трку.