INTEGRATED GAS SYSTEM>>ИГС Продуцт Сериес Схаринг
ВИГОР обезбеђује напредне интегрисане гасне системе (ИГС) дизајниране посебно за{0}}контролу гаса високе чистоће у индустрији производње полупроводника. Наша решења комбинују иновативни инжењеринг са строгим стандардима производње како би се обезбедила поузданост, компактност и супериорне перформансе у критичним применама.
Карактеристике производа
- Користи се за контролу гаса у индустрији полупроводника
- Модуларни дизајн
- Све компоненте су постављене на површину у складу са СЕМл стандардом
- Величина је око 1/3 традиционалне плоче
- Стандардни материјал СЕМл, процес електрополирања и орбитално заваривање
- Всеал и Ц{0}}сеал опциони
- Двоструко пакован у чистој просторији
- Сви производи, осим "заграда", сви су произведени у складу са спецификацијом процеса ВС001А
ИГС регулатори притиска ВИР серије
1. Мак. Радни притисак: 150 псиг
2. Мак. Радна температура: -40 степени Ф ~ 140 степени Ф (-40 степени ~ 60 степени)
3. Излазни притисак: 0~100 псиг
4. Завршна обрада: Макс. 5уин. Ра
5. Материјал: 316Л ВИМ-ВАР
6. Седиште вентила: ПЦТФЕ (ПФА/Веспел опционо)
7. Капацитет протока: Цв=0.08
ИГС мембрански вентили серије ВИД
1. Мак. Радни притисак: 150 псиг
2. Мак. Радна температура: ПЦТФЕ 14 степени Ф ~ 176 степени Ф (-10 степени ~ 80 степени); ПФА 14 степени Ф ~ 302 степена Ф (-10 степени степени ~ 150 степени)
3. Без дизајна слијепе улице
4. Мокра површина се третира са ЕП, Мак. 5уин. Ра.
5. Материјал: 316Л ВИМ-ВАР
6. 100% хелијума-тестирано-на цурење
7. Капацитет протока: Цв=0.1
ИГС вентили за контролу протока ВИМ серија
1. Мак. Радни притисак: 150 псиг
2. Мак. Радна температура: 14 степени Ф ~ 302 степена Ф (-10 степени ~ 150 степени)
3. Заптивање: ФКМ
4. Мокра површина се третира са ЕП, Мак. 5уин. Ра
5. Капацитет протока: Цв=0.03
ИГС неповратни вентили серије ВИЦВ
1. Мак. Радни притисак: 150 псиг
2. Мак. Радна температура: 14 степени Ф ~ 176 степени Ф (-10 степени ~ 80 степени)
3. Завршна обрада: Макс. 5уин. Ра
4. Притисак пуцања: 0,33 псиг
5. Капацитет протока: Цв=0.2
Подлоге серије ВлБ (Ц{0}}заптивка)
1. Ц-печат
2. Не-фиксна инсталација да би се обезбедио ефекат заптивања
3. Мокри део се третира ЕП
4. Завршна обрада: Мак. 5уин.Ра
5. Материјал: 316Л ВИМ-ВАР
Основна серија производа
- ИГС регулатори притиска (ВИР серија)
- ИГС мембрански вентили (ВИД серија)
- ИГС вентили за контролу протока (ВИМ серија)
- ИГС неповратни вентили (ВИЦВ серија)
- ИГС подлоге и носачи (ВИБ серија)
- Заптивке (ВИГ серија)
Зашто одабрати ВИГОР ИГС?
Наши системи представљају синергију прецизног инжењеринга и практичног дизајна, испоручујући:
- Ефикасност простора: Драматично смањена величина панела.
- Ултра-висока чистоћа: материјали и процеси прилагођени за апликације на нивоу полупроводника{1}}.
- Модуларна флексибилност: Лако се конфигурише, прошири и одржава.
- Доказана поузданост: Строго тестирање и усаглашеност са СЕМИ{0}}стандардима.
У ВИГОУР-у нудимо више од само компоненти-пружамо интегрисана решења која остварују ваше идеје са самопоуздањем и прецизношћу.
